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  通過(guò)特定波長(zhǎng)激光激發(fā)指定材料，獲得熒光光譜，對(duì)熒光光譜進(jìn)行采集并后處理呈現(xiàn)熒光各項(xiàng)特征。波長(zhǎng)覆蓋紫外到近紅外（200-2500nm），可對(duì)2-12寸外延片進(jìn)行測(cè)量。

半自動(dòng)（手動(dòng)）PL掃描成像儀IM-1180

自動(dòng)PL掃描成像儀IM-3600

外延片低溫PL測(cè)試儀IM-1090

爐盤(pán)分析軟件