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PL譜掃描成像儀

通過特定波長激光激發(fā)指定材料，獲得熒光光譜，對熒光光譜進(jìn)行采集并后處理呈現(xiàn)熒光各項特征。波長覆蓋紫外到近紅外（200-2500nm），可對2-12寸外延片進(jìn)行測量。