多種解決方案實(shí)現(xiàn)多種材料,多層材料的表面薄膜厚度及微區(qū)薄膜厚度的自動(dòng)測(cè)量。
不同波長(zhǎng)下干涉譜測(cè)量膜厚的配置方案
膜厚干涉原理 白光干涉譜
膜厚測(cè)量模塊 顯微膜厚測(cè)量模塊
中紅外光源 中紅外光譜儀