通過機械手搬運晶片,用特定激光器在晶片指定位置打標,實現(xiàn)對晶片的自動標記??蓪崿F(xiàn)軟打標和硬打標??纱驑税雽?dǎo)體材料覆蓋:、Si、SiC、GaAs、InP、Al2O3(藍寶石)、Ge等材料。
自動晶片激光打標機布局圖
自動晶片激光打標機組成